GJBJ 3416-1998 真空计(电参数)检定规程

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中华人民共和国国家军用标准,FL0150 GJB/J 3416-98,真空计(电参数)检定规程,Verification regulation for,electric parameters of vacumnometer,1998-07-27 发布1999-01-01 实施,中国人民解放军总装备部批准,中华人民共和国国家军用标准,真空计(电参数)检定规程,Verification regulation for,electric parameters of vacuumometer,GJB/J 3416 — 98,1范,r 1主题内容,本检定规程规定了热阴极电离真空计(以下简称电离真空计)和定流式热偶真空计(以下,简称热偶真空计)电参数的检定的技术要求、检定条件、检定项目、检定方法、检定结果的处理,和检定周期,K2适用范E,本检定规程适用于新制造、新购置、使用中和修理后,其测量范围在l()T-n)Tpa范围内,的电离真空计和测量范围在10T~l()2pa范围内的热偶真空计的电参数的检定,2引用文件,本章无条文口,3定义,3.1 真空计电参数 electric parameters of vacuumometer,电离真空计的栅极电压、阴极电压、发射电流和离子流,热偶真空计的加热电流和热电势,的统称口,4 一般要求,4J 受检测量器具的用途和原理,电离真空计和热偶真空计主要用于10t~ l()2Pa范围内的气体压力测量口,电离真空计的工作原理是:压力在10-.Itr'Pa范围内的气体中,气体分子被电离所产,生的正离子数与气体分子的数密度成正比,热偶真空计的工作原理是:压力在1。7-10叩2范围内的气体中,热电偶的热电势输出随,压力而变化,4.2 技术要求,4.2.1 外观和工作正常性,a.开关、旋钮、插头、插座和电缆等要完好;,b.指示表头不能有机械零点失调、指针弯曲、卡针和刻度不清等缺陷;,.与适当的真空规管连接,通电后要能有正常指示;数字显示要完整清晰口,总装备部1998 - 07 - 27发布1999-01-01 实施,1,GJB/J 3416 - 98,4.2.2 电离真空计电参数,电离真空计电参数最大允许偏差或误差为:,a.栅极电压:100~400V, ±2%;,b.阴极电压:20-200V, ±10%;,c.发射电流:1x10-5.5XUTA ±3%;,d.离子流:1义10一12~"10-8儿每档满刻度的±10%;1乂10-8-1乂10-4儿每档满刻度,的 ±5%,4.2.3 热偶真空计电参数,热偶真空计电参数最大允许误差为:,a.加热电流:1乂10一2~5乂10一1' ±3%;,b.热电势:1x1()-3~l5x10-2v, ±3%,4.3 检定条件,4.3.1 环境条件,a ,环境温度:23±5匕,检定过程中波动不超过±1也;,b.相对湿度:不大于80%;,.其他:检定装置周围无附加电磁场干扰,4.3.2 检定用设备,检定用设备必须经计量技术机构检定合格,并在检定有效期内,4.3.2.1 电压表,电压表测量直流电压的范围在IX 10一3~1.5 X 10-2V和20~400V时,最大允许误差应,优于土0丒5%,4.3.2.2 电流表,电流表量直流电流的范围在1 x 10—5-5 x A时,最大允许误差应优于±l%o,4.3.2.3 电流源,电流源输出的直流电流范围在1 x 10-12.1 x w8A时,最大允许误差应优于± 5%;在,1x10-8-ixi()ta时,最大允许误差应优于±3%,4.3.2.4 均衡电阻,阻值不小于阴极内阻的10倍,4.3.2.5 电压源,输出的直流电压在5.15mV范围可调,4.3.2.6 等效电阻,阻值等于热偶规管的热偶丝冷态电阻标称值,最大允许误差应优于±0.5,5详细要求,5.1 检定项目,5.1.1 外观和工作正常性,5.1.2 电离真空计电参数,2,GJB/J 3416-98,a.,b.,c.,d.,5.L3,a.,b.,栅极电压;,阴极电压;,发射电流;,离子流,热偶真空计电参数;,加热电流;,热电势,5.2 检定方法,5.2.1 外观和工作正常性,.目视法检查被检真空计外观,其结果应满足4.2.1的要求;,b.与真空规管连接,规管内的气体压力要处于正常工作压力范围,通电检杳被检真空计,其结果应满足4.2.1的要求,5.2.2 电离真空计电参数,5.2.2.1 检定步骤,.按图1连接电离真空计电参数检定线路,电离规管内的气体压力要处于正常工作压力,范围;,图1电离真空计的电参数检定原理图,A—电流表;V—电压表;R-均衡电阻,b.接通电离真空计、电压表、电流表和电流源的电源,经预热使之处于正常的工作状态;,C ,用电压表分别测量并记录电离真空计栅极电压和阴极电压;,&用电流表测量并记录发射电流;,e.将电流源和电离真空计调零;,f.调节电流源输出电流,输入电离真空计中的离子流放大器,分别记录电流源的标准值、,电离真空计的离子流示值和离子流满刻度示值。每一量程测量不少于合理分布的3个点,依,次检定各个量程,3,GJB/J 3416 - 98,5.2.2.2 数据处理,a. 栅极电压和阴极电压测量值的相对偏差由式(1)计算:,叫一匕,V2 x 100% ⑴,式中:3 —电参数的相对偏差;,匕一电参数的测量值,V;,%一电参数的标称值,V,b,发射电流测量值的相对偏差由式(2)计算;,金=,匕一 E2,E2,x 100% ⑵,式中:M一发射电流的相对偏差;,Ei 一发射电流的测量值,A;,瓦一发射电流的标称值,Ao,.离子流……

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